在線濺鍍設備是一種基板在一個或多個濺鍍加工陰極下方線性通過以獲得其薄膜塗層的系統。
通常將基材裝載到載體或託盤上以促進這種運動，而一些較小的系統每批次運行僅處理一個托盤。較大的系統可能具有處理多個托盤的能力，通過使用終端站托盤處理機，在通過運輸子系統的連續車隊中一個接一個地發送和接收一個托盤，每個的尖端跟隨在前一個的尾部後面。最常見且最不復雜的配置是使托盤和陰極水平，陰極在頂部，基板在底部以濺鍍加工向下的方向。
在這種模式下，重力通常是唯一將基板固定在托盤上的東西
也是唯一將托盤固定在運輸機構上的東西，運輸機構可以是沿著側軌穿過真空室的鏈條。這種水平排列也可以通過底部的陰極和頂部的基板實現濺鍍加工向上的方向，但顯然這使工具有些複雜，現在需要機械手段將基板保持在適當的位置，以免它們掉落。對於單面鍍膜，這不是一種非常常見的配置，但有時會用於雙面鍍膜，在托盤上方和下方都有陰極。
在這種情況下，托盤具有適當的開口來固定基板
以便底面可以接收來自下陰極的濺鍍設備，同時頂面可以接收來自上陰極的濺鍍設備。但水平確實在顆粒方面有缺點。在濺鍍加工模式下，腔室內產生的顆粒很容易落在基板上並嵌入薄膜中——這肯定會發生。沉積系統在某種程度上會自污染，材料會進入除基板以外的地方。最大的日常維護問題是保持物品清潔。在濺鍍加工方向上，這些顆粒不會到達基板上，但會落在目標上並被重新濺鍍加工。
